硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法
对应法规:GB/T 14142-2017
CNAS认可项目:是
硅片弯曲度测试方法
对应法规:GB/T 6619-2009
硅片电阻率测定扩展电阻探针法
对应法规:GB/T 6617-2009
硅片直径测量测量方法
对应法规:GB/T 14140-2009
硅抛光片表面平整度测试方法
对应法规:GB/T 6621-2009
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